1.1 常规刻蚀酸掷修造把握HF/HNO3搀杂溶液,要达到PERC电池的请求的0.3g以上的减重,平缓度扔光度才能满足仰求,药耗量增添,本钱增加2-3倍。
1.2 高浓度的含氮、含氟元素排放给废水解决酿成极大地职掌,光伏电池筑造公司环保压力日益增大,运用碱刻蚀掷光是另日的一种趋势。
1.3 采纳无机碱(KOH/NaOH)在刻蚀工艺中对扩散后硅片反面及方圆举办刻蚀抛光,替换传统酸掷光刻蚀工艺,可能取得更好的抛光机能,并降低工艺本钱。
1. 硅片漂流在HF/HNO3/H2SO4组成的刻蚀液上,去除后面及边际的PSG,同时对反面举办抛光;2. 过程NAOH水溶液去除多孔硅以及中和硅片皮相的酸液;3. 源委HF水溶液去除硅片后头的PSG,扔光后头面平展度增添,对长波光的反射增添,启发了投射光的二次汲取,从而降低Isc,同时由于正面比概况积减小,进步了背面复合,且可以普及正面钝化收效。
1. 开始在链式摆设中举办后面酸洗,硅片在常温源委后背酸洗筑筑,酸槽中HF浓度3%~20%,用于去除扩散后硅片不和及边缘PSG。
2.其次在槽式兴办中举行碱扔光,后面扔光应用TMAH、扔光液以及水羼杂所配溶液对硅片背外貌举行掷光,硅片反面及方圆被无机碱掷光,用于将正面以及周围PN结历程刻蚀抛光去除。
3. 在槽式碱掷光源委中,由于硅片反目生活PSG,将容隐硅片背面的PN结不被无机碱腐蚀抛光,在碱扔晶莹通过HF溶液再去除反面的PSG,实现实在刻龙珠体育app,蚀始末。
1. 独揽无机碱系统做扔光,无高浓度F、N元素,大幅度抬高废水办理资本,更环保;
3. 电机能增益,经过前后途工艺完婚,没合系普及服从0.1%,且暂时熟练室已经取得了更高的收效增益,另日仍有提效空间;
4. 完全成本更低,应用碱抛光刻蚀系统,单片成本较酸掷光低0.1元以上,提高了70%,极大的升高至单晶PERC电池的制造成本。
1. 天气:碱抛后的硅片,正面边际或边角有昭着的过扔情景,正面周围有黑点过抛。
2. 泉源发挥:背面 去PSG时,背面个别未干戈HF,导致没有完全去除背面PSG。
2. 理由发扬:硅片进入后头PSG刻蚀时,扩散面放反,导致后背PSG保护层被败坏。
2. 起因发扬:扩散面扩散PSG不均匀;扔光槽添加剂浓度不足;扔光槽溶液比例失衡,硅酸盐浓度过高;扔光槽溶液寿命到期。
3. 管制打算:医疗扩散工艺,加厚表面PSG;补加增加剂;排查精排排液景遇是否寻常,补液是否正常;拉长精排光阴,同时升高添加剂补加比例。
4.7 碱抛光武艺因涉及到链式兴办与槽式设置,如涌现部门特地境况,调节法则、措施和刹那的常例单晶PERC制绒工序与刻蚀工序手腕相仿。
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